台式匀胶机旋涂仪
 |
产品介绍
台式匀胶机旋涂仪产品简介：匀胶机适用于半导体工艺，制版及表面涂覆等工艺，可在科研、教育等单位作科研、教学之用。其总体设计由苏州汶颢微流控技术股份有限公司独立开发完成，具有独立知识产权。
匀胶机快速启动和稳定的转速，能够保证胶厚度的一致性和均匀性。采用全触摸屏控制，三档转速。在启动之后先在低速下进行匀胶，之后切换至高速下进行甩胶，转速及相应的时间分别可调;实现启停可控，转速实时观察等功能。仪器配置“安全开关”按钮，当进行高速运转时，关上上盖后，“安全开关”启动，运行过程中，上盖不能打开。可以起到保护作用。
汶颢股份匀胶机适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点，并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。匀胶机通常配无油真空泵一起使用。
匀胶机是一种常见用于材料薄膜制备工艺的实验室设备，它的原理相对比较简单，利用电机高速旋转时所产生的离心力使得试液或者胶液均匀地涂敷在基底材料的表面，顾名思义，一种可以“让胶液均匀涂敷的机器”。
匀胶机英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称：旋涂仪、旋涂机、甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机。
匀胶机既然是科研开发上制备薄膜材料必备的方法之一，使用者对于该设备最大的期待就在于其能够“均匀”地涂敷试液或者胶液。通常我们会用均一性和可重复性来衡量薄膜材料制备的好坏。
一、台式匀胶机旋涂仪技术参数
1.转速：硅片4英寸(含)以内300-8500RPM;4-6英寸(含)以内300-6000RPM;
2.时间控制：1-32767s;
3.转速稳定性：±1%;
4.胶的均匀性：±3%;
5.参数设定：触摸屏设置参数;
6.适用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等匀胶;
7.电源输入：AC220V±10V，50HZ;
8.功率：60W;
9.重量：13kg;
10.外形尺寸：300(W)*227(H)*350(D);
11.工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度<80 %。
12.标配4英寸吸盘，可选直径8mm、1英寸、2英寸、3英寸、5英寸、6英寸吸附托盘。
台式匀胶机旋涂仪特征图解
①防撞垫②匀胶托盘③触摸屏④专用吸附盘⑤观察窗⑥盖板 ⑦抽气孔⑧电源插口及开关
二、台式匀胶机旋涂仪操作说明
(1)选择合适的专用吸附盘(略小于样本尺寸)，将缺口对准螺钉安装，吸附盘安装时一定要插入到底。
(2)开启电源，进入参数设置页面。可分别设置三个阶段转速和时间，按工艺设置好转速和时间，点击“确定”。
(3)进入启动仪器界面，放片，要注意放正。打开真空泵，点击“吸盘”后点“启动”，仪器开始运行。转速和运行阶段以及当前阶段剩余时间可在显示屏上实时观察。
(4)滴胶，动作要快。在第一阶段运转时间内滴胶完毕，关上上盖;随时间推移自动运行第二和第三阶段。关上上盖后，安全开关启动，必须等到仪器停止运行，上盖才能被打开。
(5)电机停转后，点击脱盘，吸片停止。打开上盖，取下片子。
(6)继续匀胶时重复以上步骤。
(8)匀胶结束后，关上上盖，切断电源。
三、台式匀胶机旋涂仪安全注意事项
拆开包装后，请按照装箱单详细检查配件，如有缺失，请联系销售商。注意必须将所有包装和泡沫垫卸下，否则有可能因热量不易散发或受到其它外界因素的影响引起火灾。
操作前请详细阅读本说明全部内容，并严格按照要求依次进行操作。若用户因不规范操作或违规操作而导致的人身伤害事故、仪器损害、财产损失，制造商将不予承担。
(1) 安置本仪器的桌(台)面应坚实平整，四只橡胶脚垫应与桌(台)面平稳接触，否则会产生仪器不平稳，从而导致超标准的震动，致使器件损伤或仪器停止运行。
(2) 仪器工作时，操作人员不得倚靠在仪器上，非工作人员不得在非安全空间内逗留，匀胶机周围不得放置危险物品。
(3) 所甩样片的尺寸要大于吸附盘有效尺寸2-3mm左右，如果用大吸附盘甩小的样片就会产生漏气，同时造成胶被吸入抽气室，导致气路堵塞。
(4) 如果不慎胶被吸入了抽气室，要立刻进行清洗，否则吸附盘、光电盘、电机轴会黏在一起，造成电机转不动，拆卸亦很困难。
(5) 气路堵塞或气泵损坏时电机也可运转产生飞片，故在启动电机前须确认气泵的状况良好及吸片确已吸住。
(6) 仪器出现故障应及时与销售商或厂家联系，切勿自行打开机壳。严禁非专业人员维修，维修时必须先拔下电源插头，防止事故发生。
国产台式旋涂机/匀胶机转速准确性测试数据表：
|
设置转速(RPM) |
第1次 |
第2次 |
第3次 |
|||
|
数值 |
偏差% |
数值 |
偏差% |
数值 |
偏差% |
|
|
300 |
297 |
-1.00 |
302 |
0.67 |
297 |
-1.00 |
|
500 |
497 |
-0.60 |
504 |
0.80 |
497 |
-0.60 |
|
1000 |
998 |
-0.20 |
1001 |
0.10 |
997 |
-0.30 |
|
1500 |
1496 |
-0.27 |
1504 |
0.27 |
1496 |
-0.27 |
|
2000 |
1997 |
-0.15 |
2005 |
0.25 |
1996 |
-0.20 |
|
2500 |
2498 |
-0.08 |
2502 |
0.08 |
2492 |
-0.32 |
|
3000 |
2994 |
-0.20 |
3004 |
0.13 |
2992 |
-0.27 |
|
3500 |
3497 |
-0.09 |
3503 |
0.09 |
3493 |
-0.20 |
|
4000 |
3997 |
-0.08 |
4008 |
0.20 |
3995 |
-0.13 |
|
5000 |
4993 |
-0.14 |
5004 |
0.08 |
4993 |
-0.14 |
|
6000 |
5993 |
-0.12 |
6004 |
0.07 |
5992 |
-0.13 |
|
7000 |
6992 |
-0.11 |
7008 |
0.11 |
6988 |
-0.17 |
|
8000 |
7994 |
-0.08 |
8005 |
0.06 |
7985 |
-0.19 |
|
8500 |
8492 |
-0.09 |
8514 |
0.16 |
8480 |
-0.24 |
|
测试结论 |
转速稳定性在±1%内，测试结果合格. |
|||||
四、台式匀胶机旋涂仪装箱清单
|
名称 |
单位 |
数量 |
|
匀胶机机体 |
台 |
1 |
|
电源线 |
份 |
1 |
|
专用吸附盘4寸 |
个 |
1 |
|
匀胶托盘 |
个 |
1 |
|
专用吸附盘1寸、2寸、3寸 |
个 |
选配 |
|
有油真空泵 |
个 |
1 |
|
无油真空泵 |
个 |
选配 |
|
Ø6气管 |
M |
3 |
|
使用手册 |
份 |
1 |
|
质检报告 |
份 |
1 |
|
合格证 |
份 |
1 |
|
保修卡 |
份 |
1 |
无油真空泵技术参数无油真空泵：又称干式真空泵，是泵的工作腔内没有任何介质，可以原汁原味的回收气体。
型号：AP-550V
抽速：1.5 升/秒
功率：320W
噪音：58db
电压、频率：~220V/50HZ
最低真空度：-700mmHg
重量：5.8kg
外形尺寸：240×130×200mm
五、台式匀胶机旋涂仪常见故障排除
下列故障非本机故障，用户可参考自行解决，若仍不能排除故障，请及时拨打本公司服务热线：0512-62525801，本公司将竭诚为广大用户服务。
|
故障现象 |
原因 |
排除 |
|
电机不转 |
1.电源线没插好 |
插好电源线 |
|
2.保险管熔断 |
换用同规格新的保险管 |
|
|
硅片没吸住 |
1.吸气管未插 |
插好吸气管 |
|
2.真空泵没开 |
打开真空泵 |
台式匀胶机旋涂仪维护清洗
属下列情况之一时，需要对抽气室进行清洗
1.正常使用半个月的;
2.胶被吸入抽气室的;
3.电机转速不稳定或被卡住转不动的。
