烤胶机-高均匀性_程序控制

加热板专业制造商-易拓(ETOOL)提供不同型号烤胶机(hot plate)又名烘胶台,烤胶机,热板,热台。烤胶机主要用于光刻工艺中的旋转涂胶后的软烘,曝光后烘烤,显影后的坚膜,磨片粘片熔蜡。
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产品介绍

  ET-150基本型烤胶机是一种设计为精确控温、准确计时、高热均匀性的高性能实验室设备,可实现定时控温烤胶操作。

  ET-150最高烤胶温度300℃(更高温度450,500度可选),稳定控温后可实现温度波动在±0.2℃以内,温度分辨率在0.1℃,表面温度均匀性小于1%的精确控温操作。自带计时器,可进行烤胶计时并报警功能。

  一,烤胶机产品性能参数:

  1、温度范围:室温~350,温控可调

  2、温度分辨率 0.1℃(100度下) 100度上温度分辨率 1℃(原装宇PID数显)

  3、恒温波动度:《±1-2%℃

  4、温度均匀性《±2%(最高温度时,工作台板上9点温度均匀性)

  5、时间分辨率 0.1S(现货款没有,可订制)

  6、加热功率:600W

  7、加热工作台板尺寸:150*150*20mm

  8、最高使用温度:350℃

  8、产品外型尺寸:200(D)*200(W)*150mm(H)

烤胶机面板
烤胶机面板
 

  二,烤胶机产品特点介绍:

  ● 加热板面积220mm*220mm,最大适合8"圆晶尺寸;

  ● 阳极硬质氧化铝面板或镀特氟龙耐腐蚀不粘面板;

  ● 加热独立电路控制,方便开始和停止加热;

  ● 高精度大屏数显温控表控制,全不锈钢机身,经久耐用;

烤胶机产品结构图
烤胶机产品结构图

  ● 特殊的隔热设计和长寿命、高均匀性发热部件采用;

  ● 自带数显计时器,方便烤胶计时;

  ● 自带报警蜂鸣器,时间到达报警;

  ● 带热辐射保护盖,更高的烤胶均匀性。

  ● 烘烤时间减少;

  ● 重复性高;

  ● 对薄膜的固化效果好。

  三,烤胶机用途:

圆晶烤胶机
圆晶烤胶机

  烤胶机主要用于光刻工艺中的旋转涂胶后的软烘,曝光后烘烤,显影后的坚膜,磨片粘片熔蜡。

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