烤胶机-高均匀性_程序控制
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产品介绍
ET-150基本型烤胶机是一种设计为精确控温、准确计时、高热均匀性的高性能实验室设备,可实现定时控温烤胶操作。
ET-150最高烤胶温度300℃(更高温度450,500度可选),稳定控温后可实现温度波动在±0.2℃以内,温度分辨率在0.1℃,表面温度均匀性小于1%的精确控温操作。自带计时器,可进行烤胶计时并报警功能。
一,烤胶机产品性能参数:
1、温度范围:室温~350,温控可调
2、温度分辨率 0.1℃(100度下) 100度上温度分辨率 1℃(原装宇PID数显)
3、恒温波动度:《±1-2%℃
4、温度均匀性《±2%(最高温度时,工作台板上9点温度均匀性)
5、时间分辨率 0.1S(现货款没有,可订制)
6、加热功率:600W
7、加热工作台板尺寸:150*150*20mm
8、最高使用温度:350℃
8、产品外型尺寸:200(D)*200(W)*150mm(H)
烤胶机面板
二,烤胶机产品特点介绍:
● 加热板面积220mm*220mm,最大适合8"圆晶尺寸;
● 阳极硬质氧化铝面板或镀特氟龙耐腐蚀不粘面板;
● 加热独立电路控制,方便开始和停止加热;
● 高精度大屏数显温控表控制,全不锈钢机身,经久耐用;
烤胶机产品结构图
● 特殊的隔热设计和长寿命、高均匀性发热部件采用;
● 自带数显计时器,方便烤胶计时;
● 自带报警蜂鸣器,时间到达报警;
● 带热辐射保护盖,更高的烤胶均匀性。
● 烘烤时间减少;
● 重复性高;
● 对薄膜的固化效果好。
三,烤胶机用途:

圆晶烤胶机
烤胶机主要用于光刻工艺中的旋转涂胶后的软烘,曝光后烘烤,显影后的坚膜,磨片粘片熔蜡。