半导体用陶瓷加热器

2023-12-07 17:53  来自: 加热器专业制造商-易拓(ETOOL)

  半导体用陶瓷加热器应用于柔性印刷电子行业真空加热吸附平台,点胶机用微孔陶瓷真空吸盘,日本进口,微孔陶瓷材料制作, 具有孔径分布均匀,内部相互贯通,表面经研磨后,光滑细腻,平整性好, 广泛应用于国内外半导体行业、电子器件、薄膜制品等需要真空吸盘设备的行业。

  半导体用陶瓷加热器有较好的传导性、机械强度和耐高温性。应用于柔性印刷电子喷墨打印后加热固化,并结合了密集微孔真空吸盘功能,以及适用于对于氧水敏感的Vacuum Oven, 拥有超强的设备稳定性以及吸附均匀性。

半导体陶瓷加热器

  高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附, 同时也可作气浮平台,广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输,装置应用仅限用于平坦,无孔表面的工作平台。

  微孔陶瓷吸加热附盘是各种半导体片加工过程中用于吸附及承载的专用性工具,是减薄机、划片机等工序绝佳吸附平台之首选。

  拥有平面度、平行度高组织致密均匀、强度高通透性好、吸附力均匀易于修整等特点。

陶瓷吸加热附盘

  多孔陶瓷同时称之为纳米微孔真空吸盘,是指经过特殊的纳米粉体制造工艺先生产出均匀的实心或者真空球体,通过高温烧结在材料内部生成大量彼此连体或闭合的陶瓷材料,凭借特殊的结构从而具有耐高温、耐磨损、耐化学腐蚀、机械强度高、易于再生和优良的抗热震性等优点。

  微孔陶瓷真空吸附盘是具有高孔隙率、高强度、高平整度,及吸附能力非常强等特点,是半导体、磁性材料、电子行业绝佳吸附平台。

  主要特点:平面度、平行度好、强度高、吸附力均匀、组织致密均匀、通透性好、易于修整。

真空吸附平台

  专注于半导体设备陶瓷真空吸盘,微孔陶瓷吸盘,半导体用加热盘精密机械零件设计、加工,非标零件加工.公司设备先进,可以根据客户的小量要求, 反应快速, 以低成本生产出优质的产品,欢迎来电咨询!

  半导体 微孔陶瓷真空吸盘 多孔陶瓷 氧化铝 碳化硅陶瓷

  微孔陶瓷真空吸盘平面度、平行度高,微孔分布均匀,透气性好,吸附力均匀,光滑细腻。

  加工对象:2、3、4、5、6、8、12 英寸及非标定制。

  半导体用陶瓷加热器应用行业:应用于国内外半导体行业、电子器件、薄膜制品等需要真空吸盘设备的行业

半导体加热器应用

  微孔陶瓷真空吸附平台参数:

  1. 样品台加热面由耐高温陶瓷制成

  2. 加热台防水设计

  3. 真空吸附微孔孔径小于10微米

  4. 可控温度为0到200度间任一温度

  5.底座及边框可选材质:铝合金、不锈钢、陶瓷、塑料等。

半导体加热盘

  6.尺寸范围:5mm-800mm

  7.微孔尺寸:20-60um

  8.气 孔 率:30-50%

  9.可根据客户需求设计和定制各种非标吸盘。

半导体加热设备

  半导体用氮化铝陶瓷加热器 ALN Ceramic Heating for semiconductor,氮化铝陶瓷加热器(AlN Ceramic Heating for Semiconductor),晶圆加热盘使用高导热AlN,通过电阻加热元件的均匀烧结提供温度一致性,并显着减少金属污染和杂质。



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