加热盘 半导体

2023-12-07 17:58  来自: 加热盘专业制造商-易拓(ETOOL)

  加热盘 半导体6/8/晶圆加热盘,台面尺寸6寸,8寸,12寸可选,温度-100~300℃可选.材质陶瓷,不锈钢可选.可配合定制晶圆顶杆位置.台面温度均匀性±2%或更优,温度稳定性0.05℃.支持定制,晶圆加热板适用不同尺寸的晶圆测试,可用于各类探针台,温控同时进行电学测试。

加热盘 半导体

  加热盘产品参数:

  1.温度范围 -120℃~400℃

  2.温度稳定性 ±0.05℃

  3.温度均匀性 ±2%

  4.样品区 2寸~12寸

  5.台面平整度 25um

  6.台面电位 电接地 三同轴 背电极 可选

  7.适配仪器 手动探针台 半自动探针台 激光退火

  8.适用领域 半导体 芯片 OLED光学变温 晶圆测试

半导体加热盘应用

  半导体加热解决方案

  深圳市邦企创源科技是一家集加热盘 半导体研发设计,实验测试以及制造为一体的热工高新技术企业,致力于成为一家客户认可的专业性电热技术企业!

  公司拥有全新的SDP开发工艺技术,能够根据用户端的实际需求实现数字建模、数字化仿真、实物产品开发、验证测试等全套技术解决方案,拥有独立的创新研发实验室、千级万级洁净室、氦检测试平台、TC wafer均温测试平台等能力。

  我们开发设计团队拥有成熟热场仿真、力学仿真等技术,满足不同客户的定制化需求,力争成为全球领先的半导体热处理解决方案供应商,我司和华为、北方华创、北方微电子、上海陛通、昭和电子、浙江晶盛等多家知名企业保持长期研发合作关系,为我国芯片国产化作出了应有的贡献!

半导体加热方案

  半导体电热盘所含元素有以下元素组成

  1、加热元件:电热盘的核心部分是加热元件,它是将电能转化为热能的关键组件。常见的加热元件有电阻丝、发热管、电热膜等。电阻丝是由高电阻率的合金丝制成,通过电流通过产生热量,发热管则是利用电流经过管壁产生热量。

  2、外壳材料:电热盘的外壳通常由金属或陶瓷材料制成,既能提供结构支撑,又能有效导热,保护内部元件。

  3、控制元件:为了使电热盘能够根据需要调节温度,还会有控制元件,如温控器、热敏电阻、温度传感器等,用于检测和控制电热盘的温度。

  4、连接线和插头:电热盘与电源之间需要连接线和插头,以便供电和控制。电热盘是电饭煲的主要发热元件,是一个内嵌电发热管的铝合金圆盘,内锅就放在它上面,取下内锅就可以看见,电热盘都会有一圈圈的纹路。

加热盘热形变仿真图
加热盘热形变仿真图

  半导体加热盘深圳市邦企创源科技-自主研发半导体核心部件-经验丰富, 15年专注于晶圆加热盘,半导体设备精密机械零件设计、加工,非标零件加工.公司设备先进,可以根据客户的小量要求, 反应快速, 以低成本生产出优质的产品,欢迎来电咨询!



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