加热盘 半导体
2023-12-07 17:58 来自: 加热盘专业制造商-易拓(ETOOL)
加热盘 半导体6/8/晶圆加热盘，台面尺寸6寸,8寸,12寸可选,温度-100~300℃可选.材质陶瓷,不锈钢可选.可配合定制晶圆顶杆位置.台面温度均匀性±2%或更优,温度稳定性0.05℃.支持定制,晶圆加热板适用不同尺寸的晶圆测试，可用于各类探针台，温控同时进行电学测试。
加热盘产品参数：
1.温度范围 -120℃～400℃
2.温度稳定性 ±0.05℃
3.温度均匀性 ±2%
4.样品区 2寸～12寸
5.台面平整度 25um
6.台面电位 电接地 三同轴 背电极 可选
7.适配仪器 手动探针台 半自动探针台 激光退火
8.适用领域 半导体 芯片 OLED光学变温 晶圆测试
半导体加热解决方案
深圳市邦企创源科技是一家集加热盘 半导体研发设计，实验测试以及制造为一体的热工高新技术企业，致力于成为一家客户认可的专业性电热技术企业!
公司拥有全新的SDP开发工艺技术，能够根据用户端的实际需求实现数字建模、数字化仿真、实物产品开发、验证测试等全套技术解决方案，拥有独立的创新研发实验室、千级万级洁净室、氦检测试平台、TC wafer均温测试平台等能力。
我们开发设计团队拥有成熟热场仿真、力学仿真等技术，满足不同客户的定制化需求，力争成为全球领先的半导体热处理解决方案供应商，我司和华为、北方华创、北方微电子、上海陛通、昭和电子、浙江晶盛等多家知名企业保持长期研发合作关系，为我国芯片国产化作出了应有的贡献!
半导体电热盘所含元素有以下元素组成：
1、加热元件：电热盘的核心部分是加热元件，它是将电能转化为热能的关键组件。常见的加热元件有电阻丝、发热管、电热膜等。电阻丝是由高电阻率的合金丝制成，通过电流通过产生热量，发热管则是利用电流经过管壁产生热量。
2、外壳材料：电热盘的外壳通常由金属或陶瓷材料制成，既能提供结构支撑，又能有效导热，保护内部元件。
3、控制元件：为了使电热盘能够根据需要调节温度，还会有控制元件，如温控器、热敏电阻、温度传感器等，用于检测和控制电热盘的温度。
4、连接线和插头：电热盘与电源之间需要连接线和插头，以便供电和控制。电热盘是电饭煲的主要发热元件，是一个内嵌电发热管的铝合金圆盘，内锅就放在它上面，取下内锅就可以看见，电热盘都会有一圈圈的纹路。
加热盘热形变仿真图
半导体加热盘深圳市邦企创源科技-自主研发半导体核心部件-经验丰富， 15年专注于晶圆加热盘，半导体设备精密机械零件设计、加工,非标零件加工.公司设备先进,可以根据客户的小量要求, 反应快速, 以低成本生产出优质的产品,欢迎来电咨询!
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