匀胶机
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产品介绍
ET系列匀胶机设备适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点，并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配无油真空泵一起使用。
英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称：旋涂仪、旋涂机、甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机。
匀胶机产品特点
采用闭环控制伺服电机，数字式增速信号反馈，速匀准确，寿命长，保证匀胶的均一性。
5寸全彩触摸屏，智能程序化可编程操控显示，标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置)，可选配10个可编程程序，每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段，z多100个阶段。
内置水平校准装置，保证旋涂均匀，可对大小不同规格的基片进行旋涂。
多重安全保护:
电磁安全开关，盖子打开卡盘停止，保证安全;
盖子自锁功能，防止飞片盖弹开伤人;
双重安全上盖，聚四氟嵌镶钢化玻璃，避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人，限度保证实验人员安全。
样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护，有效降低电机进胶的风险。
一机两用，根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。
符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计，取放样品方便。
不锈钢喷塑涂层旋涂壳体，旋涂腔体采用PTFE材料。旋涂托盘采用聚丙烯(NPP-H)材料，耐酸碱防腐蚀，保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。
上下双腔体设计，较大的上腔体便于擦拭去除胶液，锥形下腔体结构设计便于收集胶液，并带废胶
匀胶机转速稳定、启动迅速，旋涂均匀，操作简单，结构紧凑实用，为实验室提供了理想的解决方案。广泛应用于微电子、半导体、新能源、化工材料、生物材料、光学，硅片、载玻片，晶片，基片，ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。
匀胶机转速稳定、启动迅速，旋涂均匀，操作简单，结构紧凑实用，为实验室提供了理想的解决方案。
匀胶机目前型号有：
| 类别 | 型号 | 特点 | 对比 |
通用型 |
ET-4A | 皮实耐用，超高性价比 | 皮实耐用,性价比高,国产电机 |
| ET-4B | 304不锈钢材质防酸防碱防腐蚀 | 4A升级款,不锈钢机身,国产电机 | |
中端型 |
ET-4BC |
4.3寸彩色触摸屏 可设10段速度段 加速度可调 转速范围50-10000转/分钟 |
4B升级款 4.3寸真彩色触摸屏 存储10段无数组数据 国产电机 |
| ET-4C |
4.3寸真彩色触摸屏，最多可设10段10组数据，加速度可调，带USB口可外接键盘鼠标U盘等设备，体积小巧可放入手套箱。可接无线鼠标键盘：机器可放于手套箱内,同时客户可在手套箱外远程操作机器 1.带防飞片保护与报警 2.带防进胶保护与报警 3.带自动取片提示功能 |
带USB通信接口 可正反转旋涂 美国进口电机 |
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高端型 |
ET-4L | 8寸超大真彩色触摸屏，最多可设15段无数组数据，加速度可调，带USB口，串口，网口可外接键盘鼠标U盘等设备 |
8寸超大真彩色触摸屏 带USB，RS485串口 可正反转旋涂 德国进口电机 |
| ET-4E |
1.室温-200℃精确控制， 2.8寸超大真彩色触摸屏， 3.旋涂正反转可自由切换， 4.可带2-4路自动滴胶显影功能， 5.腔室采用PTFE材料防酸防碱防腐蚀 6.腔室带抽废气功能 7.吸附不足报警与互锁 8.带进胶保护与报警 |
带加热功能 可带2-4路自动滴胶显影功能 腔室采用聚四氟乙烯材料 可正反转旋涂 德国进口电机 |
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| ET-4 |
1.室温-200℃精确控制 2.可放入手套箱 |
可放入手套箱 腔室采用聚四氟乙烯材料 |
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| ET-4Q |
1.旋涂基片可支持300mm(12寸)基片 2.带机械手可编程涂胶显影 |
桌面型 | |
| ET-4K | 1.旋涂基片最大可支持450mm基片 | 1.立柜结构方便操作 | |
| ET-4X | 产线级旋涂显影8寸或12寸硅片 | 工业机柜带机械手 |
