程控加热型匀胶机
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产品介绍
程控加热型匀胶机专业生产厂家,多年加热型匀胶机 触屏旋涂仪生产经验,恒温显影机,恒温加热机,全自动式分体式机,专业研发,可按需定制,生产能力强,有研发定制能力,程序控制,简易操作。适用于微电子,半导体,制版,新能源,生物材料,薄膜,光学及表面涂覆工艺
匀胶机产品参数:
1、兼容基片尺寸: 可载基片最小Φ10mm 最大Φ35mm
2、速度可调范围: 100-5000RPM/S
3、减速可调范围: 100-3000RPM/S
4、转速分辨率:1RPM
5、旋转时间范围:1-3000S
6、加速可控范围: 100-5000RPM/S
7、可编程10组5步程序
8、控温范围:室温-150度
9、有效加热区域:直径50mm
10、热板温度均匀性: ±1-2%℃
11、外形尺寸: 360mm(D)x270mm(Wx260mm(H)
12、电源入: 220V 550W
13、重量: 12KG
程控匀胶机产品特点
1,结构紧凑,适合直接放于手套箱内操作;
2,7寸全彩触摸屏,高级PLC控制,设置一键启动按钮,提作方便;可在加热的同时,进行单步和多步匀胶操作;也可匀胶后直接进行烤胶
3,工业级马达,旋转平稳,运行稳定;
4,溶剂PC透明盖;
5,设置有开机密码功能,提高设备操作安全性
匀胶机选件:
可程控自动点胶装置(多种30-50ml,360ml,1GL)可编程的吮吸系统(Programmable Suckback System) 可以防止多余的胶从管嘴溢出。 可加装背面清洗、去边装置和喷涂显影装置.产品可加装喷嘴,可同时适用多种材料的光刻材料及去离子水清洗功能。 加装自动点胶装置的匀胶机。
匀胶机/旋涂仪是什么设备?
匀胶机/旋涂仪有很多种称谓,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机
总的来说,他们原理都是一样的,既在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
匀胶机尽管是一款原理比较简单的实验室小型仪器,但影响匀胶效果的却有匀胶速度(speed)、匀胶时间(time)、匀胶加速度(acceleration)、控制精度(accuracy)等因素。
其中最重要的就是控制精度(accuracy),没有控制精度,其他的设置都是虚无。这也是某些品牌匀胶机最致命的问题所在。
深圳市邦企创源科技提供的HET系列匀胶机,采用伺服电机及触屏控制系统,实现对转速、时间和加速度的精确控制,转速调节精度<1rpm,重复性< 1rpm,实现匀胶过程的高精度和高重复性。