进口匀胶机
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产品介绍
进口匀胶机设备证明了可以在小型、灵活和更便宜的设备上实现价值百万美元设备的均匀性，拥有10年的匀胶设备制造历史，热板的0.3%的温度均匀性，和匀胶转速小于0.2rpm转速精度及可重复性居于业内前沿。设备拥有多项行业内专利和标准，通过不断把前沿的技术融入设备中，将继续半导体下一代工艺的前沿。在全球拥有超过1500个客户，其中包括知名的：杜邦、朗讯、德州仪器、Axcelis Technologies、摩托罗拉、希捷、Sony音乐、IBM 、道康宁、BAE系统公司和IBM等，在中国也拥有众多的成功客户。
匀胶机主要构造
采用无刷伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢、永不生锈，便于清洗。
排风和抽气系统位计于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。
透明可视,耐化学腐蚀的密封盖(丙烯酸材质)，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出有效隔绝有毒气味的散发。
匀胶机、热板装置
匀胶机主要性能指标：
主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)
旋涂程序：250，000种程序，无限制程序步骤，每个步骤可精确到0.1秒
转动速度：0-12,000rpm(16,000rpm可选)
旋涂加速度：0-30000rpm/sec(空载)
马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1%
转速调节精度<0.2rpm，重复性< 0.2rpm
工艺时间设定： 0-999.9 sec/step 0.1 精度
支持wafer尺寸1cm-200mm
旋涂作业均匀性：±3%在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)
热板温控精度：
温控精度: 0.1°C
温控范围:室温-300摄氏度(400摄氏度可选)
温度均匀性 :±0.3%(工作范围内)
热板工作模式(真空模式、接近模式、接触模式)
部分选件：
可加装背面清洗、去边装置
可程控自动点胶装置(容量30-50ml,360ml,1GL)
喷涂显影装置(喷液、吹氮、去离子水)
精确温度曲线控制
惰性气体环境加热固化
大尺寸匀胶机 超重衬底匀胶机
(可用于TFT-LCD匀胶)
匀胶机主要性能指标
主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)
旋涂程序：700种程序(200FX)，每个程序15步，每个步骤可精确到0.1秒
旋涂程序：250种程序(200HD)，每个程序15步，每个步骤可精确到0.1秒
转动速度：0-6,000rpm(12,000rpm可选)
旋涂加速度：0-30000rpm/sec
转速调节精度0.2rpm，重复性< 0.2rpm
工艺时间设定： 0-999.9 sec/step 0.1 精度
支持大尺寸TFT-LCD匀胶工艺16”x16“方片(200FX系列)
支持wafer最大17“圆片，12”x12“方片(200HD系列)
适用于FPD衬底和较重衬底(200HD系列)的化学试剂涂布
特殊的卡盘设计，可保证大尺寸Substrate边缘效应最小化。
选件：
可程控自动点胶装置(多种30-50ml,360ml,1GL)可编程的吮吸系统(Programmable Suckback System) 可以防止多余的胶从管嘴溢出。 可加装背面清洗、去边装置和喷涂显影装置.产品可加装喷嘴，可同时适用多种材料的光刻材料及去离子水清洗功能。 加装自动点胶装置的匀胶机。
加装自动点胶装置的匀胶机
自动点胶匀胶机
主要性能指标
点胶头不会残留溢出
点胶数量可程序控制，控制精度1ml
点胶装置容量分为30-50ml(针筒型),360ml(弹夹型),1GL(压力罐型)三种
进口匀胶机选型指南
首先提供真空的真空泵一定要采用无油真空泵，还要考虑由于误操作导致的意外吸胶，如果气路被胶液堵塞，将损坏设备内的电子器件，堵塞电机轴，而且维修困难，影响设备的正常使用。
在防堵胶方面，赫里科特(Helicoater)的做法值得推广，HC系列匀胶机均配置有储液腔，当有胶液意外进入管路，将在储液腔内截留并存储，不会影响管路后续元器件的正常使用，定期清理也很方便。这个特殊的设计非常有用，成为匀胶机设备的一个额外的保险装置。为了防止由于真空度不足，导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况，
全系列匀胶机(HC150，HC160，HC220)均配置有真空安全检测装置和盖子安全互锁装置，确保操作者安全。
3、材质的选择
对于半导体化工行业的应用来说，材质的选择尤为关键，有些低端匀胶机采用的是PP注塑成型的内腔，或者是采用冲压成型的金属盆做为内腔，这些材质对各类化工胶液的抗腐蚀性不太好，而且这种内腔是呈上口大下口小的锥形，高速旋涂过程中，甩出的溶液与内腔壁碰撞后，会回溅到基片上，造成基片质量下降。
造成这种情况的原因是，注塑成型或冲压成型加工方式为了便于脱模，必须加工成上口大下口小的形状，材料成本低，加工成本也低，损害的设备的品质，降低了用户使用体验。
在这个细节方面，赫里科特(Helicoater)坚持采用大尺寸耐腐蚀HDPE材料，采用CNC加工中心按照图纸一体化精细加工成型，内腔表面光洁，内腔壁呈凹面结构，上口小，下口大，高速甩出的溶液与内腔壁碰撞后，向下方溅射，有效避免了胶液回溅，对于重视薄膜质量的用户来讲，这将非常关键。
