程控充氮烤胶机
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产品介绍
充氮烤胶机是在ET-220基础烤胶机上增加密封盖和氮气注入口，保证氮气均匀通入烤胶机内部形成惰性气体保护气氛。程控充氮烤胶机是一款自带顶升功能，具备真空吸附和可进行线性控温的高精密烤胶设备。
烤胶温度可达400℃(更高温度可选)，可实现控温在±0.5℃以内，温度分辨率在0.1℃，表面温度均匀性小于1%的控温操作。ET-220-DQ且带有接近模式烤胶的顶升功能，方便计时，方便上下片拿取，顶升功能能够进行5步编程，可存贮100组顶升烤胶程序。
程控充氮烤胶机
带真空吸附功能，顶针接近面板时可开启真空吸附，保证不滑片，紧密接触加热面板。
带线性控温功能，程序自行控制加热输出，进行线性加热，升温速率在0.1-15℃/min，多可分为10段变温区间控制。
程控充氮烤胶机产品特点：
● 加热板面积220mm*220mm，zui大适合8"圆晶尺寸;
● 阳极硬质氧化铝面板或镀特氟龙耐腐蚀不粘面板;
● 带顶升功能，可实现接近模式加热烤胶;
● 程控准确计时，精确控温，顶升高度可调;
● 七寸全彩触摸屏操作，全不锈钢机身，经久耐用;
● 特殊的隔热设计和长寿命、高均匀性发热部件采用;
● 可编辑存贮100组，每组5步用户烤胶程序;
● 带热辐射保护盖，更高的烤胶均匀性。
晶圆桌面式烤胶
充氮烤胶机性能参数：
充氮接管直径：15mm
设置温度：400℃
温度分辨率：0.1℃
设置时间：100,000
时间分辨率：0.1S
顶升调节距离：30mm
顶升分辨率： 0.1mm
加热功率：1000
重量：25Kg
产品外型尺寸：450(D)*300(w)*295(H)
烤胶机外形尺寸
烤胶机产品使用注意事项
拆开包装后， 请按照装箱单详细检查配件， 如有缺失， 请联系销售商。 注意必须将所有包装和泡沫垫卸下， 否则有可能因热量不易散发或受到其它外界因素的影响引起火灾。
操作前请详细阅读本说明全部内容， 并严格按照要求依次进行操作。 若用户因不规范操作或违规操作而导致的人身伤害事故、 仪器损害、 财产损失， 制造商将不予承担。
(1) 安置本仪器的桌(台) 面应坚实平整， 四只橡胶脚垫应与桌(台) 面平稳接触， 否则会产生仪器不平稳， 影响硅片烘胶效果。
(2)烤胶设备工作时， 操作人员不得倚靠在仪器上， 非工作人员不得在非安全空间内逗留， 以免高温烫伤。
晶圆桌面烤胶机
(3) 放置硅片和拿取硅片时， 请利用镊子等工具， 以免烫伤。
(4) 仪器出现故障应及时切断电源， 并与销售商或厂家联系， 切勿自行打开机壳。 严禁非专业人员维修， 维修时必须先拔下电源插头， 防止事故发生
